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开眼了!英特尔展业界首块450毫米晶圆

BEAREYES.COM 北京 [ 翻译 ] 作者:小熊在线-lulu 日期:2013年01月21日

     在上周晚些时候召开的SEMI产业策略研讨会(ISS)上,英特尔推出了其晶圆厂的骄傲——业界首块450毫米晶圆的实物,而且是完整印刷过的成品。全球主要的半导体晶圆厂都在比拼谁能够获得450毫米晶圆的量产。竞争者有台湾的台积电、阿联酋的GlobalFoundries公司以及韩国的三星公司,而随着推出首块450毫米晶圆的实物,英特尔似乎已经宣布了其领先地位。

     英特尔发言人查克·穆洛伊表示:“这是向前迈进的重要一步,它表明很快就会有大批量的印刷测试晶圆用于让供应商开发它们的450毫米工具。”据报道,晶圆厂使用了Impints的J-Fil压印光刻技术,展示了可用于24nm印刷,线边缘粗糙度不到2nm 3Σ,临界尺寸的一致性也达到了1.2nm 3Σ,而且只需一步就能完成10nm印刷。

BEAREYES.COM 北京 日期:2013年01月21日

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