台积电加速研发2nm工艺:成本可轻松超10亿美元

小熊在线 马甲 | 2020年04月23日
【小熊在线网 新闻报道】在最新的2019年年报中,台积电确认5nm已经进入量产阶段,3nm正在持续研发,同时今年还会加快2nm(N2)的研发速度。 ......

【小熊在线网 新闻报道】在最新的2019年年报中,台积电确认5nm已经进入量产阶段,3nm正在持续研发,同时今年还会加快2nm(N2)的研发速度。

台积电透露,2019年已经在业内率先启动2nm工艺研发,并在关键的光刻技术上进行2nm以下技术开发的前期准备工作。

台积电从7nm工艺开始导入EUV极紫外光刻技术,5nm上也顺利转移,而且在3nm上展现了优异的光学能力和符合预期的良品率,所以在2nm和后续更先进工艺上,台积电将继续重点改善EUV技术的质量与成本。

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